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长沙鑫康新材料有限公司 金属靶材 钼(Mo)靶材
钼(Mo)靶材
钼(Mo)靶材
产品类别
高纯金属靶材
产品名称
钼(Mo)靶材
元素符号
Mo
纯度
3N5
形状
平面靶 旋转靶 异型定制
钼(Mo)靶材概述

        钼靶材,钼为银白色金属,钼原子半径为0.14nm,原子体积为235.5px/mol,配位数为8,晶体为Az型体心立方晶系,空间群为Oh(lm3m),至今还没发现它有异构转变.常温下钼的晶格参数在0.31467~0.31475nm之间,随杂质含量而变化。钼熔点很高,在自然界单质中名列第六,被称作难熔金属,见表2。钼的密度为10.23g/cm,约为钨的一半(钨密度19.36g/cm)。钼的热膨胀系数很低,20~100℃时为4.9×10/℃;钼的热传导率较高,为142.35w/(m·k) 。钼电阻率较低:0℃时为5.17×-10Ω·cm;800℃时为24.6×-10Ω·cm;2400℃时为72×-10Ω·cm。钼属顺磁体,99.99%纯度的钼在25℃时比磁化系数为0.93×10cm/g。钼的比热在25℃时为242. 8J/(kg·k)。钼的硬度较大,摩氏硬度为5~5.5。钼在沸点的蒸发热为594kJ/mol;熔化热为27.6 ±2.9kJ/mol;在25℃时的升华热为659kJ/mol。钼是发热体、隔热屏,它具有导电导热性能优越、热膨胀系数小,抗腐蚀性强等优点,主要用于电真空器件、高温炉内发热体、隔热板、料舟等,用于制造钼舟、电力半导体用钼元片和制作电真空光源零件等。下图是钼溅射靶材的两种典型的显微金相检测图片,平均粒径<100um。


钼靶材.png高纯钼靶材.png

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      我们生产高纯度的溅射靶材,它重要的好处是在物理气相沉积的过程中,能获得具有优异的导电率和颗粒小化的薄膜。以下表格是3N5高纯钼溅射靶的成分分析证明书。采用的分析方法:1,使用ICP-OES对金属元素进行分析;2,使用LECO进行气体元素分析。


钼靶材参数.jpg


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